光切法显微镜是应用计算机辅助测量的新一代光切法工具显微镜,能解决各种复杂的二维测量问题。
光切法显微镜可以测量零件的长度、角度、螺纹等诸多几何量参数,是长度计量检测中使用较多的一种测试仪器,因此广泛应用于机械加工业的各类企业。但随着现代工业的发展以及科技的进步,传统的老式万工显已难以满足要求,因此很有必要对其进行技术改造。
一、数显系统的改型
二、数显系统的安装
三、数显系统的调试
四、数显系统的检定
根据万工显检定规程中的相关规定,需要检定读数装置的示值误差、读数装置的回程误差和示值误差。
(1)读数装置的示值误差检定
对数显系统来说,读数装置的示值误差就是数显表的小分辨率,即±0.5μm,无须检定。
(2)读数装置的示值误差的检定(相当于磁栅尺的重复性)
光栅尺读数装置就其构造和原理来说是没有回程误差的,当然这需要很高的工艺水平做保证通过用0.1μm的电感测微仪反复测试,光栅尺读数装置的回程误差大不超过0.5μm
(3)示值误差的检定(相当于磁栅尺的准确性)
用检定极限误差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作为标准,按照规程规定的条件方法对纵、横向分别进行检定;若没有玻璃刻度尺,可用光切法工具显微镜原有的刻度尺与光栅尺进行比较检定,并用仪器原有的示值误差进行修正,以确定光栅尺各被检点的实际误差,若有超差再用线性补偿系统进行补偿。
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