测量显微镜是选用用透、反射的方法对工件长度和角度作精细丈量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精细零件的测验仪器。

　　测量显微镜的基本原理

　　与STM类似，在AFM中，运用对微弱力较敏gan的弹性悬臂上的针尖对样品外表作光栅式扫描。当针尖和样品外表的间隔很接近时，针尖jian端的原子与样品外表的原子之间存在极微弱的作用力(10-12~10-6N)，此刻，微悬臂就会发生微小的弹性形变。针尖与样品之间的力F与微悬臂的形变之间遵从虎克定律:F=-k*x，其中，k为微悬臂的力常数。所以，只需测出微悬臂形变量的巨细，就可以取得针尖与样品之间作用力的巨细。

　　针尖与样品之间的作用力与间隔有强烈的依赖关系，所以在扫描过程中运用反应回路坚持针尖与样品之间的作用力稳定，即坚持为悬臂的形变量不变，针尖就会随样品外表的起伏上下移动，记载针尖上下运动的轨迹即可得到样品外表形貌的信息。这种作业形式被称为"恒力"形式(Constant Force Mode)，是运用z广泛的扫描方法。

　　AFM的图画也可以运用"恒高"形式(Constant Height Mode)来取得，也就是在X，Y扫描过程中，不运用反应回路，坚持针尖与样品之间的间隔稳定，经过测量微悬臂Z方向的形变量来成像。这种方法不运用反应回路，可以选用更高的扫描速度，通常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于外表起伏比较大的样品不适用。